·氟和其他卤素
·金属和金属氧化物
·有机化合物
·提高粘晶和打线的粘合力
·提高塑封胶粘合力，降低分层
·提高粘晶胶流动性，消除空洞，提高粘合力
·提高塑封材料流动性，消除空洞，降低打线偏离率
·提高底部填充物流动性，消除空洞，增强粘合力，提高芯吸速度
FlexTRAK-CD系统拥有一个等离子腔，每个等离子周期内可处理多达5根料条。均匀处理所有基底表面的同时，始 终严格控制工艺参数以获得可重复性效果。此外，系统还拥有一个获得专利的等离子体模块，可实现优异的均匀 性和跨周期的工艺可重复性。
FlexTRAK-CDS系统具有大容量等离子腔体，每个等离子周期内可处理多达10根料条。均匀处理所有基底表面的同 时，始终严格控制工艺参数以获得可重复性效果
系统核心功能FlexTRAK-CD系统拥有一个等离子腔，每个等离子周期内可处理多达5根料条。均匀处理所有基底表面的同时，始 终严格控制工艺参数以获得可重复性效果。此外，系统还拥有一个获得专利的等离子体模块，可实现优异的均匀 性和跨周期的工艺可重复性。
| 项 目 | 内 容 | |
| 外 壳
尺 寸 |
W(宽)xD(长)xH(高) - 占地面积 | FlexTRAK-CD：1068宽x1166长x1600高；高1966mm，带灯塔（42宽x46长x63高；包含灯塔高度为77英寸） |
|---|---|---|
| FlexTRAK-CDS：1190宽x1320长x1640高；包含灯塔高度为2114mm（47宽x52长x65高；包含灯塔高度为83英寸 | ||
| 净重 | FlexTRAK-CD：430公斤（948磅） | |
| FlexTRAK-CDS：550公斤（1213磅） | ||
| 设备间隙 | 右边，左边，后面 - 254毫米（10英寸），前面 - 940毫米（37英寸） | |
| 处 理
腔 体 |
最大容量 | FlexTRAK-CD：5.5升（338立方厘米） |
| FlexTRAK-CDS：9.6升 （585立方英寸） | ||
| 电 极 | 多种电极配置 | 电源-接地、接地-电源、电源-电源 |
| 工作区 | FlexTRAK-CD：305毫米（宽）x 305毫米（长）（12英寸（宽） x 12英寸（长）） | |
| FlexTRAK-CDS：305mm宽x550mm长（12英寸宽x21英寸长） | ||
| 射 频 电 源 |
标配电源 | 600 瓦 |
| 流量计 | 13.56 兆赫 | |
| 气 体 控 制 |
可用流量 | 50、100或250标准毫升/分钟 |
| MFC最多可配置数 | 3 | |
| 控制和 接 口 |
软件控制 | 外部外设控制器（EPC），配有PC端触摸屏界面 |
| 远程接口 | SMEMA接口、SECS/GEM协议 | |
| 真空泵 | 标准干泵 | 16立方英尺/分钟 |
| 选配湿泵 | 19.5立方英尺/分钟 | |
| 选配净化干泵 | 16立方英尺/分钟 | |
| 干泵净化氮气用量 | 2升/分钟 | |
| 设 施 | 电源 | 220 伏交流电，15安培，50/60赫兹，1相，12 AWG3线 |
| 工艺气体管径及接口 | 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管 | |
| 工艺气体纯度 | 实验室或电子等级 | |
| 工艺气体压力 | 最小0.69巴（10磅/平方英寸）至最大1.03巴（15磅/平方英寸），可调节 | |
| 净化气体管径及接口 | 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管 | |
| 净化气体纯度 | 实验室或电子等级 N2/CDA | |
| 净化气体压力 | 最小2巴（30 磅/平方英寸）至最大6.9巴（100 磅/平方英寸），可调节 | |
| 气动阀接口及管径 | 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管 | |
| 压缩空气纯度 | CDA、无油、露点温度≤7°C（45°F）、粒径＜5微米 | |
| 压缩空气压力 | 最小3.45巴（50 磅/平方英寸）至最大6.89巴（100 磅/平方英寸），可调节 | |
| 排放 | 外径25.4毫米（1英寸）管道法兰 | |
| 合规性 | 半导体 | 通过SMEI S2/S8（环境、健康和安全/人体工学）认证 |
| 国际 | 通过CE认证 | |
| 辅助设备 | 气体发生器 | 氮气（需要其他不可选硬件） |
