诺信MARCH的AP-1000系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计，可实现均匀等离子体处理，安全稳定且操作简便。
AP-1000型采用紧凑式设计，占地面积小，真空泵、腔体和电气控制件以及13.56MHZ射频电源都整合在设备内部，设备前部可方便完成操作维护，带有脚轮的真空泵装置方便检修。
等离子腔采用美规11标号的不锈钢和铝支架制造，坚久耐用。腔内可调整的电极组根据不同的产品载具，包括料盒、托盘、晶圆、晶舟等可灵活组合配置。
搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。
AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选用不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。
开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒最少可放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可最多放置12个料盒。
| 项 目 | 内 容 | |
| 外 壳
尺 寸 |
占地面积W(宽) x D 长) x H 高) | 0.68米宽 x 1.127米长 x 1.89米高 |
|---|---|---|
| 净 重 | 485 公斤 (1069磅) | |
| 设备间隙 | 右边、左边-至少153 毫米，前面- 至少680毫米，后面-至少483毫米 | |
| 处 理
腔 体 |
最大容量 | 127升 |
| 多种电极配置 | 电源-接地，接地-电源，电源-电源 | |
| 电极插槽数 | 14 | |
| 电极间距 | 25.4 600W) 50.8 毫米 (1000W) |
|
| 电 极 | 电源电极面积 | 349毫米宽x 425毫米长 |
| 多孔接地电极面积 | 384毫米宽x 425毫米长 | |
| 悬浮电极面积 | 349毫米宽x 425毫米长 | |
| 射 频 功 率 |
标配电源 | 600 W |
| 选配电源 | 1000 W | |
| 频率 | 13.56 MHZ | |
| 气 体 控 制 |
流量计 | 10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升/分钟 |
| MFC最多可配置数 | 4 | |
| 控制和 接 口 |
软件控制 | PLC控制，配有触摸屏界面 |
| 远程接口 | PlasmaLINK、ProcessLINK、SECS/GEM接口 | |
| 真空泵 | 标配油泵 | 1500升/分钟，配有氧油除雾器 |
| 选配油泵 | 1500升/分钟，配有防锈油除雾器 | |
| 选配干泵 | 1784升/分钟 | |
| 干泵净化氮气用量 | 14升/分钟 | |
| 干泵冷却水用量 | 5升/分钟 | |
| 设 施 | 电源 | 220伏，25安，50/60 赫兹，3相， 8 AWG，4线；380伏，25安，50/60 赫兹，3相， 8 AWG，5线 |
| 工艺气体管径及接口 | 外径6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管 | |
| 工艺气体纯度 | 实验室或电子等级 | |
| 工艺气体压力 | 最小0.069兆帕至最大0.103兆帕，可调节 | |
| 净化气体管径及接口 | 外径6.35 毫米(0.25 英寸) Swagelok管 | |
| 净化气体纯度 | 实验室或电子等级N2/CDA | |
| 净化气体压力 | 最小0.2兆帕至最大0.69兆帕，可调节 | |
| 气动阀接口及管径 | 外径6.35 毫米(0.25 英寸)Swagelok管 | |
| 压缩空气纯度 | CDA、无油、露点温度 ≤7℃ ，粒径＜5微米 | |
| 压缩空气压力 | 最小0.345兆帕至最大0.689兆帕，可调节 | |
| 排放 | 外径38 毫米(1.5英寸)管道法兰 | |
| 合规性 | 半导体 | 通过SEMI S2/S8 (环境、健康和安全/人体工学)认证 |
| 国际 | 通过CE认证 | |
| 辅 助 设 备 |
气体发生器 | 氮气、氢气(需要其他不可选硬件) |
| 设施 | 冷却器、洗涤器 | |
